JEM-ARM200F

JEM- ARM200F является электронным аналитическим микроскопом с атомарным разрешением. В базовой конфигурации микроскоп оснащен СПЭМ корректором аберраций и обеспечивает самый высокий уровень разрешающей способности не хуже 78 пм в режиме СПЭМ.

■ Благодаря тому, что в базовой конфигурации микроскоп оснащен СПЭМ корректором аберраций и имеет конструкцию, отличающуюся улучшенной механической и электрической стабилизацией, гарантируется самое высокое среди приборов аналогичного класса разрешение не хуже 78 пм*1 или 82 пм*2 в режиме СПЭМ при использовании высокоуглового кольцевого детектора темного поля (STEM-HAADF). Корректор аберраций позволяет значительно увеличить плотность тока пучка почти в 10 раз по сравнению с обычным типом полевого просвечивающего микроскопа, что обеспечивает выполнение высокоэффективного элементного анализа на атомарном уровне.
*1: пушка с автоэмиссионным катодом, *2: пушка с катодом Шотки

■ Разрешение изображения узлов атомной решетки для легких элементов в режиме СПЭМ с помощью кольцевого детектора светлого поля (STEM-ABF). Данный режим реализован как стандартный для JEM-ARM200F. Благодаря оптимальному расстоянию между детектором светлого поля и высокоугловым кольцевым детектором темного поля в режиме СПЭМ возможно одновременно разрешать изображения узлов атомной решетки как для легких, так и для тяжелых элементов.

■ Благодаря ЭДС с большим телесным углом сбора сигнала обеспечивается выполнение элементного анализа на атомарном уровне. Кремневый дрейфовый ЭДС детектор (SDD)*3 с площадью детектирования 100 мм2 является собственной разработкой компании JEOL.
*3: опция

■ Получение изображений и анализ с использованием автоэмиссионного катода*4 Микроскоп может быть оснащен пушкой с автоэмиссионным катодом
*4: Опция

■ ПЭМ корректор аберраций ПЭМ корректор аберраций обеспечивает улучшение разрешающей способности микроскопа в ПЭМ режиме до уровня не хуже 110 пм.

Конфигурация*1 Ультравысокое разрешение
[Разрешение]
СПЭМ
Темнопольный режим
82 пм (200 кВ, пушка с катодом Шотки)
78 пм (200 кВ, пушка с автоэмиссионным катодом)
ПЭМ
(разрешение по точкам)
190 пм (200 кВ)
110 пм (200 кВ, с ПЭМ корректором аберраций)
[Увеличение]
СПЭМ от х200 до х150 000 000
ПЭМ от х50 до х2 000 000
[Тип источника электронов]
Эмиттер*2 ZrO/W катод Шотки
W автоэмиссионный катод (опция)
Ускоряющее напряжение От 80 до 200 кВ (стандартное значение 200 кВ) *3,*4
[Система управления столиком образца]*5
Столик Эвцентрический гониометрический столик с боковым вводом
Размер образца ø3 мм
Максимальный угол наклона*3 по оси X: ±25°
по оси Y: ±25°
Диапазон перемещения (мм) X,Y: ±1, Z:±0.1
(моторизированный привод/ пьезопривод)
[Корректор аберраций]
Корректор аберраций линзовой
системы формирования пучка
Встроен в базовой конфигурации
Корректор аберраций линзовой
системы формирования изображения
Опция
[Опция]
Основные устанавливаемые опции ЭДС
СХПЭЭ
Цифровая ПЗС камера
Система ПЭМ/СПЭМ томографии
Бипризма
Конфигурация*1 Высокое разрешение
[Разрешение]
СПЭМ
Темнопольный режим
100 пм (200 кВ, пушка с катодом Шотки)
100 пм (200 кВ, пушка с автоэмиссионным катодом)
ПЭМ
(разрешение по точкам)
230 пм (200 кВ)
120 пм (200 кВ, с ПЭМ корректором аберраций)
[Увеличение]
СПЭМ от х200 до х150 000 000
ПЭМ от х50 до х2 000 000
[Тип источника электронов]
Эмиттер*2 ZrO/W катод Шотки
W автоэмиссионный катод (опция)
Ускоряющее напряжение От 80 до 200 кВ (стандартное значение 200 кВ) *3,*4
[Система управления столиком образца]*5
Столик Эвцентрический гониометрический столик с боковым вводом
Размер образца ø3 мм
Максимальный угол наклона*3 по оси X: ±35°
по оси Y: ±30°
Диапазон перемещения (мм) X,Y: ±1, Z:±0.2
(моторизированный привод/ пьезопривод)
[Корректор аберраций]
Корректор аберраций линзовой
системы формирования пучка
Встроен в базовой конфигурации
Корректор аберраций линзовой
системы формирования изображения
Опция
[Опция]
Основные устанавливаемые опции ЭДС
СХПЭЭ
Цифровая ПЗС камера
Система ПЭМ/СПЭМ томографии
Бипризма
  • *1 : возможен выбор любой конфигурации при заказе JEM-ARM200F
  • *2 : возможен выбор любого типа эмиттера при заказе JEM-ARM200F
  • *3 : Возможна работа при ускоряющих напряжениях 80 кВ и 100 кВ при оснащении опциональным устройством закорачивания анодных ступеней
  • *4 : Возможна работа при ускоряющих напряжениях 100 кВ, 120 кВ и 160 кВ при дополнительной настройке корректоров аберраций.
  • *5 : При использовании держателя с наклоном с усиленной фиксацией образца модели EM-01030RSTH или держателя с наклоном модели EM-31630

PAGE TOP