JEM- ARM200F является электронным аналитическим микроскопом с атомарным разрешением. В базовой конфигурации микроскоп оснащен СПЭМ корректором аберраций и обеспечивает самый высокий уровень разрешающей способности не хуже 78 пм в режиме СПЭМ.
■ Благодаря тому, что в базовой конфигурации микроскоп оснащен СПЭМ корректором аберраций и имеет конструкцию, отличающуюся улучшенной механической и электрической стабилизацией, гарантируется самое высокое среди приборов аналогичного класса разрешение не хуже 78 пм*1 или 82 пм*2 в режиме СПЭМ при использовании высокоуглового кольцевого детектора темного поля (STEM-HAADF). Корректор аберраций позволяет значительно увеличить плотность тока пучка почти в 10 раз по сравнению с обычным типом полевого просвечивающего микроскопа, что обеспечивает выполнение высокоэффективного элементного анализа на атомарном уровне.
*1: пушка с автоэмиссионным катодом, *2: пушка с катодом Шотки
■ Разрешение изображения узлов атомной решетки для легких элементов в режиме СПЭМ с помощью кольцевого детектора светлого поля (STEM-ABF). Данный режим реализован как стандартный для JEM-ARM200F. Благодаря оптимальному расстоянию между детектором светлого поля и высокоугловым кольцевым детектором темного поля в режиме СПЭМ возможно одновременно разрешать изображения узлов атомной решетки как для легких, так и для тяжелых элементов.
■ Благодаря ЭДС с большим телесным углом сбора сигнала обеспечивается выполнение элементного анализа на атомарном уровне.
Кремневый дрейфовый ЭДС детектор (SDD)*3 с площадью детектирования 100 мм2 является собственной разработкой компании JEOL.
*3: опция
■ Получение изображений и анализ с использованием автоэмиссионного катода*4
Микроскоп может быть оснащен пушкой с автоэмиссионным катодом
*4: Опция
■ ПЭМ корректор аберраций ПЭМ корректор аберраций обеспечивает улучшение разрешающей способности микроскопа в ПЭМ режиме до уровня не хуже 110 пм.
| Конфигурация*1 | Ультравысокое разрешение | Высокое разрешение |
| [Разрешение] | ||
|
СПЭМ Темнопольный режим |
82 пм (200 кВ, пушка с катодом Шотки) 78 пм (200 кВ, пушка с автоэмиссионным катодом) |
100 пм (200 кВ, пушка с катодом Шотки) 100 пм (200 кВ, пушка с автоэмиссионным катодом) |
|
ПЭМ (разрешение по точкам) |
190 пм (200 кВ) 110 пм (200 кВ, с ПЭМ корректором аберраций) |
230 пм (200 кВ) 120 пм (200 кВ, с ПЭМ корректором аберраций) |
| [Увеличение] | ||
| СПЭМ | от х200 до х150 000 000 | |
| ПЭМ | от х50 до х2 000 000 | |
| [Тип источника электронов] | ||
| Эмиттер*2 |
ZrO/W катод Шотки W автоэмиссионный катод (опция) |
ZrO/W катод Шотки W автоэмиссионный катод (опция) |
| Ускоряющее напряжение | От 80 до 200 кВ (стандартное значение 200 кВ) *3,*4 | |
| [Система управления столиком образца]*5 | ||
| Столик | Эвцентрический гониометрический столик с боковым вводом | |
| Размер образца | ø3 мм | |
| Максимальный угол наклона*3 | по оси X: ±25° | по оси X: ±35° |
| по оси Y: ±25° | по оси Y: ±30° | |
| Диапазон перемещения (мм) |
X,Y: ±1, Z:±0.1 (моторизированный привод/ пьезопривод) |
X,Y: ±1, Z:±0.2 (моторизированный привод/ пьезопривод) |
| [Корректор аберраций] | ||
|
Корректор аберраций линзовой системы формирования пучка |
Встроен в базовой конфигурации | |
|
Корректор аберраций линзовой системы формирования изображения |
Опция | |
| [Опция] | ||
| Основные устанавливаемые опции |
ЭДС СХПЭЭ Цифровая ПЗС камера ПЭМ/СПЭМ томографии Бипризма |
|
| Конфигурация*1 | Ультравысокое разрешение | |
| [Разрешение] | ||
|
СПЭМ Темнопольный режим |
82 пм (200 кВ, пушка с катодом Шотки) 78 пм (200 кВ, пушка с автоэмиссионным катодом) |
|
|
ПЭМ (разрешение по точкам) |
190 пм (200 кВ) 110 пм (200 кВ, с ПЭМ корректором аберраций) |
|
| [Увеличение] | ||
| СПЭМ | от х200 до х150 000 000 | |
| ПЭМ | от х50 до х2 000 000 | |
| [Тип источника электронов] | ||
| Эмиттер*2 |
ZrO/W катод Шотки W автоэмиссионный катод (опция) |
|
| Ускоряющее напряжение | От 80 до 200 кВ (стандартное значение 200 кВ) *3,*4 | |
| [Система управления столиком образца]*5 | ||
| Столик | Эвцентрический гониометрический столик с боковым вводом | |
| Размер образца | ø3 мм | |
| Максимальный угол наклона*3 | по оси X: ±25° | |
| по оси Y: ±25° | ||
| Диапазон перемещения (мм) |
X,Y: ±1, Z:±0.1 (моторизированный привод/ пьезопривод) |
|
| [Корректор аберраций] | ||
|
Корректор аберраций линзовой системы формирования пучка |
Встроен в базовой конфигурации | |
|
Корректор аберраций линзовой системы формирования изображения |
Опция | |
| [Опция] | ||
| Основные устанавливаемые опции |
ЭДС СХПЭЭ Цифровая ПЗС камера Система ПЭМ/СПЭМ томографии Бипризма |
|
| Конфигурация*1 | Высокое разрешение |
| [Разрешение] | |
|
СПЭМ Темнопольный режим |
100 пм (200 кВ, пушка с катодом Шотки) 100 пм (200 кВ, пушка с автоэмиссионным катодом) |
|
ПЭМ (разрешение по точкам) |
230 пм (200 кВ) 120 пм (200 кВ, с ПЭМ корректором аберраций) |
| [Увеличение] | |
| СПЭМ | от х200 до х150 000 000 |
| ПЭМ | от х50 до х2 000 000 |
| [Тип источника электронов] | |
| Эмиттер*2 |
ZrO/W катод Шотки W автоэмиссионный катод (опция) |
| Ускоряющее напряжение | От 80 до 200 кВ (стандартное значение 200 кВ) *3,*4 |
| [Система управления столиком образца]*5 | |
| Столик | Эвцентрический гониометрический столик с боковым вводом |
| Размер образца | ø3 мм |
| Максимальный угол наклона*3 | по оси X: ±35° |
| по оси Y: ±30° | |
| Диапазон перемещения (мм) |
X,Y: ±1, Z:±0.2 (моторизированный привод/ пьезопривод) |
| [Корректор аберраций] | |
|
Корректор аберраций линзовой системы формирования пучка |
Встроен в базовой конфигурации |
|
Корректор аберраций линзовой системы формирования изображения |
Опция |
| [Опция] | |
| Основные устанавливаемые опции |
ЭДС СХПЭЭ Цифровая ПЗС камера Система ПЭМ/СПЭМ томографии Бипризма |
