Особоенности
Технические условия
Принципиальные опции
Недавно разработанная Супер Гибридная Объективная Линза (SHL) использована для создания РЭМ нового поколения с экстремально высоким разрешением, без ущерба для его производительности. Использование катода Шоттки обеспечивает стабильный анализ с большим током зонда.

Экстремально высокое разрешение благодаря Супер Гибридной Объективной Линзе (SHL) В Супер Гибридной Объективной Линзе (SHL) постоянное магнитное поле перекрывается электростатическим полем. Снижение хроматических и сферических аберраций улучшает разрешение, особенно при низких ускоряющих напряжениях. Магнитное поле SHL не оказывает влияния на образец, что делает возможным наблюдение магнитных материалов без проблем и кристаллографического анализа методом EBSD без искажений.

Выбор энергии при низких ускоряющих напряжениях Энергетический фильтр, установленный непосредственно под верхним детектором электронов (UED), позволяет выбирать энергию детектируемых электронов. Вторичные электроны и/или обратно-рассеянные электроны могут быть точно разделены, даже при низких ускоряющих напряжениях. Это позволяет наблюдать состав поверхности образца с использованием изображения в обратно-рассеянных электронах даже при низких ускоряющих напряжениях.

Наблюдение поверхности образца с использованием режима Gentle Beam Напряжение смещения, приложенное к образцу (режим GB), уменьшает скорость падающих электронов и увеличивает скорость эмитируемых. Это позволяет получать изображения высокого разрешения с хорошим соотношением сигнал-шум, даже при низком эффективном ускоряющем напряжении (на образце). Использование режима GB с более высокими значениями напряжения смещения позволяет проводить наблюдения с высоким разрешением даже при эффективных ускоряющих напряжениях порядка десятков вольт.

Получение полной информации благодаря использованию нескольких детекторов JSM-7800F комплектуется четырьмя детекторами электронов.
Верхний детектор электронов (UED), верхний детектор вторичных электронов (USD), детектор обратно-рассеянных электронов (BED), и нижний детектор электронов (LED).
UED. Энергетический фильтр позволяет выбирать энергию улавливаемых электронов, что позволяет управлять соотношением между вторичными и обратно-рассеянными электронами в регистрируемом сигнале.
USD улавливает электроны низких энергий, отраженные от энергетического фильтра.
BED позволяет ясно наблюдать контраст каналирования, регистрируя малоугловые обратно-рассеянные электроны.
LED позволяет формировать псевдо 3Д изображение, демонстрирующие шероховатость поверхности, используя эффект освещения.



Made on
Tilda