Особоенности
Технические условия
Опции
JIB-4000 – это система фокусированного ионного пучка (однолучевая система ФИП) для обработки образца и получения изображения, сочетающаяся с высокопроизводительной ионно-оптической системой. Пучок ускоренных ионов Ga фокусируется и воздействует на образец, давая возможность получать изображение поверхности образца во вторичных электронах, осуществлять травление и напыление материалов, таких как углерод, вольфрам или платина. Кроме того, она позволяет изготовлять образцы поперечного сечения, чтобы видеть внутреннее строение материала или тонкие пленки для наблюдения в ПЕМ. По сравнению с изображением СЭМ, изображение, получаемое ионным пучком, дает заметно больший контраст из-за разной ориентации кристалла. Это особенно подходит для оценки поперечного сечения многослойных покрытий и структур металлов.

Высокопроизводительная колонна ФИП JIB-4000 имеет в своем составе колонну ФИП повышенной мощности с максимальным током пучка ионов 60 нА, что позволяет осуществлять быстрое травление. Высокоскоростное травление с большим током особенно полезно для обработки больших площадей, и даже поперечные сечения размером более 100 мкм могут быть изготовлены легко и быстро.

Эргономичный ФИП JIB-4000 гарантирует превосходную работоспособность мощной колонны ФИП. Основной концепцией дизайна этого инструмента является удобство во всем, от внешнего вида, до графического интерфейса программы, предназначенного для создания простоты при использовании системы ФИП. Это инструмент, которым можно легко управлять даже новичок. Прибор компактен, один из самых маленьких в отрасли, что позволяет устанавливать его в небольших помещениях.

Двойной столик образцов Стандартная конфигурация JIB-4000 включает в себя моторизованный столик для размещения объемных образцов. Кроме того, с боку, можно дополнительно установить гониометр, который обеспечивает непосредственную установку образца на держателе ПЭМ. Столик для объемных образцов, позволяет наблюдать поверхность размером 20 × 20 мм. Быстрая замена образца осуществляется через шлюзовую камеру. Гониометр, устанавливаемый сбоку - той же системы, что используется в ПЭМ JEOL, поэтому держатель с подготовленным образцом может быть использован с системами ПЭМ JEOL, что позволяет легко переключаться между травлением в ФИП и наблюдением в ПЭМ.

Разнообразие опций Есть множество опций, разработанных для дополнения возможностей JIB-4000, таких как система CAD навигации, которая нужна для работы с интегральными микросхемами, векторной системы сканирования, которая является эффективным для травления специальных форм. Добавив соответствующие опции к JIB-4000, система может выполнять операции без пробоподготовки.

Опции
1
  • Газоинжекционная система Gas injection system 2 (IB-02100GIS2)
2
  • Картридж для напыления углеродный Carbon Deposition Cartridge (IB-52110CDC2)
3
  • Картридж для напыления вольфрамовый Tungsten Deposition Cartridge (IB-52120WDC2)
4
  • Картридж для напыления платиновый Platinum Deposition Cartridge (IB-52130WDC2)
5
  • Гониометр Side Entry Goniometer Stage (IB-01040SEG)
6
  • Детектор тока зонда Probe Current Detector (IB-04010PCD)
7
  • Выносная панель управления Operation Panel (IB-05010OP)
8
Навигационная система Stage Navigation System (IB-01200SNS
9
  • Держатель FIB Tip-on Holder (EM-02210)
10
  • Держатель FIB Bulk-Specimen Holder (EM-02220)
11
  • Держатель FIB Bulk-Specimen Holder 1 (EM-02560FBSH1)
12
  • Держатель FIB Bulk-Specimen Holder 2 (EM-02570FBSH2)
13
  • Адаптер на держатель FE-SEM Specimen Holder Adapter (EM-02580FSHA)
14
  • Фиксатор Shuttle Retainer (EM-02280)
15
  • Настольная система установки образца на держатель Atmosphere Pick-up System (EM-02230)
Made on
Tilda