Особоенности
Технические условия
JIB-4601F представляет собой многолучевую систему обработки образца, включающую в себя растровый электронный микроскоп с термополевым катодом Шоттки и высокоэффективную ионную колонну. Прибор позволяет обрабатывать поперечное сечение образца в ФИП, а также получать изображения и производить анализ в растровом электронном микроскопе. ФИП может использоваться для точного травления и приготовления образцов для ПЭМ, а также для осуществления 3D анализа структуры образца благодаря автоматизированному травлению поперечного сечения, получения изображения и анализа в определенные промежутки времени. РЭМ с катодом типа Шоттки позволяет с легкостью манипулировать образцом , получать качественное изображение и анализ мельчайших структур. Это система может применяться для широкого круга задач, включая научно-исследовательскую разработку и контроль качества продукции.

Многофункциональный анализ благодаря сочетанию высокопроизводительной системы ФИП и высокомощной оптики РЭМ. Ионная колонна, с максимальным током зонда 60 нА, дает возможность быстрого травления поперечного сечения, в то время как катод Шоттки на РЭМ дает его изображение с высоким разрешением. Мощная электронная оптика (с максимальным током зонда 200 нА при 15 кВ) растрового электронного микроскопа позволяет выполнять высокоскоростной анализ, с высоким разрешением, например, элементный анализ с использованием ЭДС или ВДС, и EBSD-анализ ориентаций кристаллов. Кроме того, есть огромный спектр дополнительных опций, таких как детектор прошедших электронов, механизмы для охлаждения образца, вроде криостолика или криоприставки и детектор катодолюминесценции.

Функция 3-мерного анализа структуры образца. Благодаря автоматическому чередованию травления в ФИП с получением изображения в РЭМ и анализом (ЭДС картирование или EBSD-анализ кристаллической структуры) можно составить представление о 3х-мерной структуре образца. Процедуры могут быть проведены очень быстро, так как нет необходимости перемещать столик с образцом.

Совместимость с другими продуктами JEOL Держатели образцов, используемые в JIB-4601F те же, что используются в полевых микроскопах JEOL. Например, если фиксатор-ретейнер ПЭM используется в держателе серии JIB, нет необходимости в сложной манипуляции с образцом для ПЭМ, который уже установлен на сетчатую подложку, что существенно экономит время.


Made on
Tilda